Harrick等離子清洗機(jī)主要由電源、匹配器、腔體、電磁閥、流量計(jì)、外接氣體、真空泵和控制電路組成。當(dāng)出現(xiàn)故障報(bào)警時(shí)，首先要根據(jù)屏幕上的報(bào)警提示檢查哪個(gè)部位有報(bào)警，從而確定故障的大致部位，然后再檢查相關(guān)部位的各個(gè)執(zhí)行器是否有異常。檢測(cè)控制電路故障直觀簡單的方法就是用萬用表檢測(cè)是否有短路或開路，電壓和電流是否正常。如果要在沒有萬用表的情況下排除故障，最快的方法就是更換它。首先根據(jù)屏幕提示確定故障位置，然后更換相同的元件。如果交流接觸器、熱過載、中間繼電器、相序保護(hù)器、流量計(jì)等電器元件出現(xiàn)故障，問題將很快得到解決。
 

　　

　　如果是燃?xì)馇穳簣?bào)警，則需要確認(rèn)相關(guān)進(jìn)氣口是否有燃?xì)饨尤耄細(xì)鈮毫Α⒄{(diào)壓閥、流量計(jì)、電磁閥和模擬量接線是否都OK，相關(guān)是否屏幕參數(shù)的參數(shù)設(shè)置是否正確。當(dāng)Harrick等離子清洗機(jī)真空度過高或過低時(shí)，應(yīng)首先考慮參數(shù)設(shè)置。當(dāng)真空度太高且參數(shù)設(shè)置正常時(shí)，需要查明腔體和管道是否泄漏，真空泵的抽真空壓力是否正常。將真空計(jì)與真空泵直接連接，測(cè)量真空泵的抽真空值是否能達(dá)標(biāo)。

　　

　　如果真空泵的抽真空值正常，說明真空泵是好的，將測(cè)量儀連接到抽真空管道上進(jìn)行測(cè)量。如果抽真空值遠(yuǎn)高于直接連接真空泵的抽氣值，則表明抽真空管道有泄漏。管道滲漏可能是管道接頭滲漏，也可能是管道滲漏。疏散管道雖然采用金屬不銹鋼制作，但如果每次疏散時(shí)管道與周圍的某一部分發(fā)生震動(dòng)和摩擦，隨著時(shí)間的推移，管道也會(huì)出現(xiàn)磨損。如果連接抽真空管道的測(cè)量儀測(cè)得的真空值與直接連接真空泵測(cè)得的真空值沒有明顯差異，則說明抽真空管道也良好。接下來，只需在型腔密封處尋找漏氣部位即可。型腔可能泄漏的部位是密封條、玻璃窗、抽氣接頭和外聯(lián)部分、空腔的電極和外聯(lián)部分，而空腔破裂和外聯(lián)部分，最容易發(fā)生漏氣的部位是密封條和玻璃窗。

　　

　　Harrick等離子清洗機(jī)電源和匹配器故障在觸發(fā)故障時(shí)也會(huì)在屏幕報(bào)警窗口顯示相關(guān)提示信息，但有時(shí)會(huì)因參數(shù)設(shè)置等原因觸發(fā)誤報(bào)警信息。這個(gè)要根據(jù)情況來分析。電源或匹配器出現(xiàn)故障時(shí)，首先確認(rèn)參數(shù)設(shè)置正確，然后檢查設(shè)置電源輸出的接線和電壓信號(hào)是否正確合理，匹配器與電源的串口通訊是否正確供電正常，再進(jìn)行人工調(diào)試。如果調(diào)試匹配器的參數(shù)，按下增/減按鈕時(shí)相關(guān)參數(shù)沒有明顯變化，如果電源的功率輸出沒有變化，則說明電源有故障。